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日前,包头稀土研究院稀土新材料院士专家工作站揭牌,由中国科学院院士、中科院化学研究所所长万立骏领衔的科研团队入站工作,开展纳米级稀土抛光材料生产技术研发工作。
据悉,包头稀土研究院是包钢的稀土科研基地,此前已与中科院化学所建立起联合实验室,对稀土新材料开展相关研究。此次双方携手开展“纳米稀土氧合物在化学机械抛光(CMP)中的应用技术开发”课题,目的是依托包钢丰富的稀土铈资源,研究开发集成电路制造用抛光材料生产技术,从而改变这一产品完全依赖进口的局面,对提升我国稀土产品附加值和半导体工业竞争力具有重要意义。
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